露點傳感器應用于半導體廠監控氮氣供應系統
文章來源：本站 發布時間：2022-10-10
氮氣在半導體制程中是相當重要的氣體之一，且使用量最大，因其特性不導電且降溫速度快，可在制程中對設備產生保護作用，還可使用在危險氣體與空氣作隔離或低溫測試。
而氣體供應系統的氮氣，要求更是嚴格，需達到高潔凈、高純度及高度干燥等條件；其中為控制干燥程度，在氣體供應輸送系統的過程，會設置露點傳感器來監控氣體是否足夠低濕。
半導體廠的氮氣供應模式取決于用氣規模、氮氣生產工廠距離、工廠是零星分布或是群聚設置使用不同的供氣模式，常見如桶槽供應模式、鋼瓶供應模式、管道供應模式、用氣端供應模式等。不論任一種供應模式，都必須由輸送系統之氮氣儲存容器，如高壓鋼瓶，或吸附式的氣體儲存鋼瓶，再透過管路將氣體供應至現場附近的閥箱，進行流量之控制與進氣的混合比例控制，再供應給制程后端機器使用。
在半導體產業使用的氮氣大多會直接接觸電子零件，純度需達到ppm、ppb級，潔凈度則為塵埃粒徑控制小于0.1～0.05m，干燥度達到壓力露點-40℃～-70℃。
為達到氮氣使用的標準，一般會安裝露點傳感器在氣體傳送至冷凍干燥機前端，也可安裝在烘烤凈晶圓體前，如此一來可以更精準的監控氮氣運輸過程的露點值保持在極低濕的程度，以提高制程中的良率。
德國GFS露點傳感器NP330-G測量氣體內的微量濕度，絕對露點傳感器，在-80°C DP至+20℃ DP范圍內測量氣體內的微量濕度。NP330-G 用于在線測量空氣中和腐蝕性氣體中的絕對水含量（露點），開關輸出可編程，用于警報信號，針對露點鏡面進行校準，結構堅固可靠，防護等級 IP65，可提供OEM代加工，可根據要求提供防爆設計，設計應用于化學污染和結露等苛刻環境環境使用，相當適合用于工業制程氣體的供應或壓縮干燥機效能監控。
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