集成傳感器的一般結(jié)構(gòu)與應(yīng)用
集成傳感器是利用集成電路工藝(鍍膜、掩膜、腐蝕等)將半導(dǎo)體敏感元件及測(cè)量處理電路集成在一個(gè)芯片上的傳感器。
半導(dǎo)體敏感元件是基于半導(dǎo)體材料和P-N結(jié)的物理效應(yīng)將被測(cè)的非電量轉(zhuǎn)換成電量。例如,熱敏、光敏、磁敏、壓敏等效應(yīng)。傳感器輸出歸一化的測(cè)量信號(hào),由儀器完成采集、 處理等操作。若將儀器的采集、處理、控制與顯示等電路均集成在同一芯片上,則稱為集成儀器芯片。若將多個(gè)儀器及系統(tǒng)接口也集成在同一芯片上,則稱為集成測(cè)量系統(tǒng)芯片。
集成傳感器具有體積小、重量輕、高精度、高頻響,且可做到高可靠、長(zhǎng)壽命、低功耗、 低成本,是一代新型傳感器。目前,已廣泛用于石油、化工、機(jī)械動(dòng)力、氣象、地質(zhì)、生物醫(yī)學(xué)及航空、航天、航海等領(lǐng)域。