氣體傳感器的分類和工作原理
1964年,由Wickens和Hatman利用氣體在電極上的氧化還原反應(yīng)研制出了第一個(gè)氣敏傳感器,1982年英國Warwick大學(xué)的Persaud等提出了利用氣敏傳感器模擬動(dòng)物嗅覺系統(tǒng)的結(jié)構(gòu),自此后氣體傳感器飛速發(fā)展,應(yīng)用于各種場(chǎng)合,比如氣體泄漏檢測(cè),環(huán)境檢測(cè)等。
氣體傳感器主要有半導(dǎo)體傳感器(電阻型和非電阻型)、絕緣體傳感器(接觸燃燒式和電容式)、電化學(xué)式(恒電位電解式、伽伐尼電池式),還有紅外吸收型、石英振蕩型、光纖型、熱傳導(dǎo)型、聲表面波型、氣體色譜法等。
電阻式半導(dǎo)體氣敏元件是根據(jù)半導(dǎo)體接觸到氣體時(shí)其阻值的改變來檢測(cè)氣體的濃度;非電阻式半導(dǎo)體氣敏元件則是根據(jù)氣體的吸附和反應(yīng)使其某些特性發(fā)生變化對(duì)氣體進(jìn)行直接或間接的檢測(cè)。
接觸燃燒式氣體傳感器是基于強(qiáng)催化劑使氣體在其表面燃燒時(shí)產(chǎn)生熱量,使傳感器溫度上升,這種溫度變化可使貴金屬電極電導(dǎo)隨之變化的原理而設(shè)計(jì)的。另外與半導(dǎo)體傳感器不同的是,它幾乎不受周圍環(huán)境濕度的影響。電容式氣體傳感器則是根據(jù)敏感材料吸附氣體后其介電常數(shù)發(fā)生改變導(dǎo)致電容變化的原理而設(shè)計(jì)。
電化學(xué)式氣體傳感器,主要利用兩個(gè)電極之間的化學(xué)電位差,一個(gè)在氣體中測(cè)量氣體濃度,另一個(gè)是固定的參比電極。電化學(xué)式傳感器采用恒電位電解方式和伽伐尼電池方式工作。有液體電解質(zhì)和固體電解質(zhì),而液體電解質(zhì)又分為電位型和電流型。電位型是利用電極電勢(shì)和氣體濃度之間的關(guān)系進(jìn)行測(cè)量;電流型采用極限電流原理,利用氣體通過薄層透氣膜或毛細(xì)孔擴(kuò)散作為限流措施,獲得穩(wěn)定的傳質(zhì)條件,產(chǎn)生正比于氣體濃度或分壓的極限擴(kuò)散電流。
紅外吸收型傳感器,當(dāng)紅外光通過待測(cè)氣體時(shí), 這些氣體分子對(duì)特定波長的紅外光有吸收, 其吸收關(guān)系服從朗伯—比爾(Lambert-Beer)吸收定律,通過光強(qiáng)的變化測(cè)出氣體的濃度。
聲表面波傳感器的關(guān)鍵是SAW振蕩器,它由壓電材料基片和沉積在基片上不同功能的叉指換能器所組成,由延遲型和振子型兩種振蕩器。SAW傳感器自身固有一個(gè)振蕩頻率,當(dāng)外界待測(cè)量變化時(shí),會(huì)引起振蕩頻率的變化,從而測(cè)出氣體濃度。